还有其它的，例如上海巨哥电子科技有限公司，深圳市卡默莱电子科技有限公司，烟台睿创微纳技术有限公司Raytron，上海三鑫科技发展有限公司（Laseno微型激光投影仪）
目前，国内MEMS产品门类依然相对较少，主要还是以惯性器件和压力传感器为主，而且多是中低端产品，创新性强的新器件、新系统鲜有出现
高校和研究所：
北京大学、1000m2 MEMS 洁净室
中科院上海微系统与信息技术研究所，1600m2MEMS 洁净室
河北半导体研究所（13所）1000m2MEMS 洁净室
厦门大学萨本栋微纳米技术研究中心 600m2洁净室
中国工程物理研究院微系统中心1000 m2洁净室
中国科学院微电子研究所
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
北京国浩微磁电子智能传感器技术研究所
其它的诸如：山东淄博国家高新区MEMS研究院、陕西省微型机械电子系统研究中心、西安212/213所、618所，航天717/704所等等，
大连理工王立鼎院士的分析是：
研发的分布地区和单位：
中国内地MEMS的研发单位主要集中在华北、华东和东北三个地区，还有西南地区的重庆和西北地区的西安等。初步统计，不同层次的内地研发单位共有60余个。如：
华北地区：清华大学、北京大学、中科院电子所、石家庄13所，中科院力学所等；
华东地区：中科院上海微系统与信息技术所、上海交大、上海大学、东南大学、浙江大学、厦门大学、中国科大、南京55所等；
东北地区：大连理工大学、哈尔滨工业大学、哈尔滨49所、中科院长春光机所、沈阳仪器仪表工艺所、东北大学等；
西南地区：重庆大学、重庆微系统科技股份有限公司等；
西北地区：西安交大、航空618所等；
内地其它单位还有：解放军总装备部、中科院半导体所、中科院高能物理所、北京理工大学、北京航空航天大学、南开大学、天津大学、华北工学院、复旦大学、华东师范大学、中科院上海光机所、南京航空航天大学、中科院合肥智能机械所、黑龙江大学、沈阳工业大学、沈阳47所、长春科技大学、重庆24所、重庆26所、重庆44所、中科院成都光电技术所、中国工程物理院电子所、成都电子科技大学、西北工业大学、西安电子科技大学、广东工业大学、武汉科技大学、河北科技大学、四川大学、航天集团16所等。
香港地区：香港科大、中文大学等。
台湾地区：台湾大学、清华大学、交通大学、成功大学、新竹工业园机械所等。
据统计，按部门分布如图1所示。
代工服务：
中芯国际
无锡华润上华科技有限公司
台湾的TSMC和UMC
封装：
南通富士通：
晶方半导体科技有限公司：拓展至微电机(MEMS)，无线射频识别芯片(RFID)
华天科技：开发MEMS封装技术
长电科技：已掌握MEMS封装技术，并以实现量产
通富微电：国内最早研究开发MEMS封装，也是国内最先实现MEMS量产的厂家，客户包括意法半导体、美新等国内外知名的MEMS企业
工业园：苏州，无锡
造苏州工业园区生物纳米科技园，希望使其成为生物科技的创新平台
无锡市积极建设中国微纳国际创新园，并将微纳米产业作为重点发展对象
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