品牌:日立
型号:S-4800扫描电子显微镜
产品简介:
日立S-4800扫描电子显微镜采用大样品室的半内透镜设计,却能达到超高分辨率,可以与内透镜UHR扫描电镜相媲美。
产品概述&参数:
扫描电子显微镜仪器特点:
1.新型物镜采用的ExB设计。使用单检测器和超级ExB可以分别收集和分离单纯二次电子、混合二次电子及背散射电子的信号。
2. 1KV低加速电压,不使用减速功能,可保证有2.0nm的分辨率。
3. 两种样品台可选:I型50mm x 50mm标准样品台或Ⅱ型110mm x 110mm大样品台。
4. 包括磁悬浮涡轮分子泵在内的先进的真空系统。
5. 光阑自清洁技术,避免了光阑的污染。
仪器参数:
二次电子分辨率: 1.4nm (1 kV,减速模式)
1.0nm (15kV)
电子光学:
电子枪: 冷场发射电子源
加速电压: 0.5~30kV(0.1KV/步,可变)
放大倍率: x 20~ x 800,000
物镜光阑: 4孔,真空外选择和调校(内置加热器)
检测器: 二次电子检测器 (高位/低位)
背散射电子检测器(可选)
EDX(可选)
透射电子检测器(可选)
法拉第杯(可选)
阴极荧光检测器(可选)
样品台: l型:
X: 0~50mm Y: 0~50mm
Z:1.5~30mm T: -5~+70°R:360°
驱动:手动(可选3轴驱动)
ll型:
X: 0 ~110 mm Y: 0 ~110mm
Z: 1.5 ~40 mm T: -5 ~+70°
R: 360°驱动:PC机控制5轴驱动
图像显示:
操作/显示: PC/AT 兼容,
操作系统: WindowsTM 2000
18.1" 平面显示器
扫描模式: 标准,Split/dual mag./linescan, position
set, spot, AAF, SAA, oblique
画面储存: 640 x 480, 1,280 x 960,
2,560 x 1,920,5,120 x 3,840
图像编辑: 内置图像处理软件和图像编辑软件
图像文件格式: BMP, TIFF, JPEG
扫描速度: TV, 慢速 (0.5 ~ 40 s/帧) 用于观察
慢速 (40 ~ 320 s/帧) 用于记录
成像过程: 自动调节亮度和对比度
光栅旋转,自动聚焦,自动像散校正,
平均,帧积分,伪彩色显示
自动数据记录: 胶卷号,加速电压,微米标尺,放大
倍率,日期,时间,工作距离
电子图像移动: ±12u( W.D. = 8 mm)
真空系统: 完全气阀自动调节
离子泵 3 台
涡轮分子泵(磁浮型) 1 台
机械泵 1 台
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